臺(tái)達(dá)伺服電機(jī),又名,臺(tái)達(dá)伺服馬達(dá),是將電信號(hào)轉(zhuǎn)換成轉(zhuǎn)軸的角位移或角速度的補(bǔ)助馬達(dá)間接變速裝置,是可以連續(xù)旋轉(zhuǎn)的電——機(jī)械轉(zhuǎn)換器,是在自動(dòng)化控制系統(tǒng)中控制機(jī)械元件運(yùn)轉(zhuǎn)的微特電機(jī)(又名:執(zhí)行電機(jī))。下面,我們一起來(lái)了解下臺(tái)達(dá)伺服電機(jī)的加工工藝流程步驟?
?。?)加料:將多晶硅原料及雜質(zhì)放入石英坩堝內(nèi),雜質(zhì)的種類(lèi)依電阻的N或P型而定。雜質(zhì)種類(lèi)有硼,磷,銻,砷。
?。?)熔化:加完多晶硅原料于石英堝內(nèi)后,長(zhǎng)晶爐必須關(guān)閉并抽成真空后充入高純氬氣使之維持一定壓力范圍內(nèi),然后打開(kāi)石墨加熱器電源,加熱至熔化溫度(1420℃)以上,將多晶硅原料熔化。
?。?)縮頸生長(zhǎng):當(dāng)硅熔體的溫度穩(wěn)定之后,將籽晶慢慢浸入硅熔體中。由于籽晶與硅熔體場(chǎng)接觸時(shí)的熱應(yīng)力,會(huì)使籽晶產(chǎn)生位錯(cuò),這些位錯(cuò)必須利用縮勁生長(zhǎng)使之消失掉。縮頸生長(zhǎng)是將籽晶快速向上提升,使長(zhǎng)出的籽晶的直徑縮小到一定大?。?-6mm)由于位錯(cuò)線與生長(zhǎng)軸成一個(gè)交角,只要縮頸夠長(zhǎng),位錯(cuò)便能長(zhǎng)出晶體表面,產(chǎn)生零位錯(cuò)的晶體。
(4)放肩生長(zhǎng):長(zhǎng)完細(xì)頸之后,須降低溫度與拉速,使得晶體的直徑漸漸增大到所需的大小。
?。?)等徑生長(zhǎng):長(zhǎng)完細(xì)頸和肩部之后,借著拉速與溫度的不斷調(diào)整,可使晶棒直徑維持在正負(fù)2mm之間,這段直徑固定的部分即稱為等徑部分。單晶硅片取自于等徑部分。
(6)尾部生長(zhǎng):在長(zhǎng)完等徑部分之后,如果立刻將晶棒與液面分開(kāi),那么效應(yīng)力將使得晶棒出現(xiàn)位錯(cuò)與滑移線。于是為了避免此問(wèn)題的發(fā)生,必須將晶棒的直徑慢慢縮小,直到成一尖點(diǎn)而與液面分開(kāi)。這一過(guò)程稱之為尾部生長(zhǎng)。長(zhǎng)完的晶棒被升至上爐室冷卻一段時(shí)間后取出,即完成一次生長(zhǎng)周期。
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